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量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備
量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備

品牌

致真精密

產(chǎn)地

安徽

樣本

暫無(wú)
合肥致真精密設(shè)備有限公司

高級(jí)會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

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該設(shè)備基于晶圓真空傳輸平臺(tái)VTM,可以靈活配備傳輸腔室和工藝腔室,工藝腔室可選配電子束蒸發(fā)腔室、分子束外延腔室、濺射腔室、熱蒸發(fā)腔室和預(yù)清洗腔室等??蓪?shí)現(xiàn)多種材料的精確沉積。

性能參數(shù)

晶圓尺寸8~12吋
極限真空優(yōu)于5×10-9mbar(工藝室PM)
優(yōu)于5×10-7mbar(傳輸室TM)
優(yōu)于5×10-6mbar(進(jìn)樣室Load lock)
工藝室可選配電子束蒸發(fā)腔室、分子束外延腔室、熱蒸發(fā)腔室、預(yù)清洗室、濺射室、退火室、低溫室、蒸發(fā)室、氧化室等
傳輸室可選四邊形、六邊形或八邊形腔室,可實(shí)現(xiàn)多個(gè)傳輸室互聯(lián),配置雙臂或單臂機(jī)械臂,配置校準(zhǔn)和測(cè)量裝置
進(jìn)樣室8或12吋晶圓,可選EFEM等前端模塊

詳細(xì)配置可咨詢業(yè)務(wù)


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10分

易用性

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