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量產級多功能薄膜沉積設備
量產級多功能薄膜沉積設備

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型號

量產級多功能薄膜沉積設備

品牌

致真精密

產地

安徽

樣本

暫無
合肥致真精密設備有限公司

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該設備基于晶圓真空傳輸平臺VTM,可以靈活配備傳輸腔室和工藝腔室,工藝腔室可選配電子束蒸發(fā)腔室、分子束外延腔室、濺射腔室、熱蒸發(fā)腔室和預清洗腔室等??蓪崿F(xiàn)多種材料的精確沉積。

性能參數

晶圓尺寸8~12吋
極限真空優(yōu)于5×10-9mbar(工藝室PM)
優(yōu)于5×10-7mbar(傳輸室TM)
優(yōu)于5×10-6mbar(進樣室Load lock)
工藝室可選配電子束蒸發(fā)腔室、分子束外延腔室、熱蒸發(fā)腔室、預清洗室、濺射室、退火室、低溫室、蒸發(fā)室、氧化室等
傳輸室可選四邊形、六邊形或八邊形腔室,可實現(xiàn)多個傳輸室互聯(lián),配置雙臂或單臂機械臂,配置校準和測量裝置
進樣室8或12吋晶圓,可選EFEM等前端模塊

詳細配置可咨詢業(yè)務


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