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超高真空管道傳輸設(shè)備
超高真空管道傳輸設(shè)備

參考價格

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型號

超高真空管道傳輸設(shè)備

品牌

致真精密

產(chǎn)地

安徽

樣本

暫無
合肥致真精密設(shè)備有限公司

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第1年

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生產(chǎn)商

工商已核實

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生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備是針對生產(chǎn)企業(yè)實驗室和產(chǎn)線研發(fā)的一系列高性能、高效率的磁控濺射裝備。MSI-200型磁控濺射設(shè)備采用多個真空腔室互聯(lián)的設(shè)計,通過Cluster內(nèi)置的三維機械手實現(xiàn)晶圓的傳輸,可搭配多個濺射室或處理腔室,適用于生產(chǎn)產(chǎn)線或?qū)嶒灳€。

性能參數(shù)

晶圓尺寸

8吋向下兼容
極限真空優(yōu)于5×10-10mbar
對接口每節(jié)管道可連接一套系統(tǒng),對接口CF250及以下。
傳輸裝置磁力傳輸,可同時傳輸多片
進樣室可選配獨立進樣室
校準裝置光電傳感器
真空系統(tǒng)機械泵+分子泵,可選離子泵等

控制系統(tǒng)                    

PC+PLC
安全互鎖,碰撞保護,真空互鎖等


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