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卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體的物理氣相傳輸(PVT）系統(tǒng)是專為碳化硅晶體生長而設(shè)計(jì)?；鞠到y(tǒng)設(shè)計(jì)是基于線圏感應(yīng)加熱概念，可以生長直徑 6/8英寸的晶錠。
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