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電子束蒸發(fā)設(shè)備—E-Beam-UHV
電子束蒸發(fā)設(shè)備—E-Beam-UHV

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型號

電子束蒸發(fā)設(shè)備—E-Beam-UHV

品牌

致真精密

產(chǎn)地

安徽

樣本

暫無
合肥致真精密設(shè)備有限公司

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電子束蒸發(fā)設(shè)備可以在高真空和超高真空環(huán)境下實現(xiàn)精確的多層薄膜制備。線性電子束槍可以實現(xiàn)多種材料的蒸發(fā)。設(shè)備可選配考夫曼離子源實現(xiàn)晶圓的預(yù)清洗,可用于超導(dǎo)量子等領(lǐng)域,適用于高校及企業(yè)研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)場合。

性能參數(shù)

晶圓尺寸4inch~8inch
極限真空優(yōu)于1×10-9mbar
溫控RT-800℃
電子束槍超高真空線性運動電子束槍,可選配坩堝數(shù)量和容量(標(biāo)配,10KW,6×15cc)
晶圓清洗可選配考夫曼離子源實現(xiàn)晶圓清洗
清洗均勻性例:4inch晶圓優(yōu)于±3%
控制系統(tǒng)PC+PLC,全自動操作與安全互鎖
樣品臺180度傾斜,360度旋轉(zhuǎn),可選升降與偏壓
膜厚測量膜厚儀,可伸縮
占地面積3m L*2m W*2m H
可選低溫泵、自動傳輸、工藝菜單等



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