參考價(jià)格
面議型號(hào)
科研級(jí)磁控濺射設(shè)備—MS-700品牌
致真精密產(chǎn)地
安徽樣本
暫無(wú)看了科研級(jí)磁控濺射設(shè)備—MS-700的用戶(hù)又看了
留言詢(xún)價(jià)
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
MS-700磁控濺射設(shè)備是一款具有多功能、多陰極的磁控濺射系統(tǒng)，具有超高真空，單原子層沉積精度的特點(diǎn)。可根據(jù)需求配置4inch以下的圓形陰極，可選擇垂直濺射、自動(dòng)傳輸、反應(yīng)濺射、膜厚測(cè)量等配置。適用于研發(fā)和生產(chǎn)需要多靶濺射的中高精度的工藝需求。
性能參數(shù)
晶圓尺寸 | 4inch-6inch |
鍍膜均勻性 | 優(yōu)于±2% |
極限真空 | 優(yōu)于5×10-10mbar（金屬密封） 優(yōu)于5×10-9mbar（膠圈密封） |
溫控 | RT-800℃，可選**1200℃ |
陰極數(shù)量 | 12個(gè)2inch 或 6個(gè)4inch，共焦濺射 |
電源 | DC、RF、DC Pulse |
沉積精度 | 0.1nm |
占地面積 | 4m L*3m W*2.5m H |
可選 | 低溫泵、垂直濺射、自動(dòng)傳輸、反應(yīng)濺射、膜厚儀、RGA、工藝菜單等 |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
科研級(jí)磁控濺射設(shè)備—MS-700的工作原理介紹？科研級(jí)磁控濺射設(shè)備—MS-700的使用方法？科研級(jí)磁控濺射設(shè)備—MS-700多少錢(qián)一臺(tái)？科研級(jí)磁控濺射設(shè)備—MS-700使用的注意事項(xiàng)科研級(jí)磁控濺射設(shè)備—MS-700的說(shuō)明書(shū)有嗎？科研級(jí)磁控濺射設(shè)備—MS-700的操作規(guī)程有嗎？科研級(jí)磁控濺射設(shè)備—MS-700的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？科研級(jí)磁控濺射設(shè)備—MS-700有現(xiàn)貨嗎？科研級(jí)磁控濺射設(shè)備—MS-700包安裝嗎？
手機(jī)版：
工商已核實(shí)
