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水平離子濺射鍍膜機
水平離子濺射鍍膜機

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型號

水平離子濺射鍍膜機

品牌

杰萊特

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無
杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司

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型號:IBSH-1030


特點:


1、基板水平放置,垂直監(jiān)控;


2、靶材左右移動,位置和速度可編程控制;


3、基板:12吋×1 或 6吋×4;


4、靶材:兩靶,三靶或四靶可更換;


5、多光路監(jiān)控。


6、無膜厚分布修正板

工藝參數(shù):

一,真空系統(tǒng)

1、極限真空度:4.0×10-5Pa 

2、抽至10Pa所用時間:≦ 10 分鐘

3、漏率: 3.0×10-5Pa m3/sec

二,控制精度

1、靶材旋轉(zhuǎn):0.005°

2、工件旋轉(zhuǎn):<1000RPM

3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev

4、膜厚修正板:0.005°

5、擋板:  position switch

三,光學監(jiān)控系統(tǒng)OMS

1、波長范圍:380nm~1650nm

2、光源穩(wěn)定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02%

3、波長分辨率: 白光0.2nm,激光0.1nm

4、波長準確度: 白光0.2nm ,激光0.1nm

型號:IBSH-1030


特點:


1、基板水平放置,垂直監(jiān)控;


2、靶材左右移動,位置和速度可編程控制;


3、基板:12吋×1 或 6吋×4;


4、靶材:兩靶,三靶或四靶可更換;


5、多光路監(jiān)控。


6、無膜厚分布修正板

工藝參數(shù):

一,真空系統(tǒng)

1、極限真空度:4.0×10-5Pa 

2、抽至10Pa所用時間:≦ 10 分鐘

3、漏率: 3.0×10-5Pa m3/sec

二,控制精度

1、靶材旋轉(zhuǎn):0.005°

2、工件旋轉(zhuǎn): <1000RPM

3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev

4、膜厚修正板:0.005°

5、擋板:  position switch

三,光學監(jiān)控系統(tǒng)OMS

1、波長范圍:380nm~1650nm

2、光源穩(wěn)定性 :白光< 0.1%,激光< 0.02%

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10分

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10分

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