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SAB9500-半自動 超原子束拋光機品牌
青禾晶元產地
天津樣本
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SAB9500是一款半自動的超原子束拋光機，可利用超原子束對2-12寸晶圓或不規(guī)則樣品進行超精密表面拋光，可加工材料包括Si、SiC、InP、GaAs、GaN、金剛石、LN、LT、光學晶體等。
2-12寸及不規(guī)則樣品兼容晶圓尺寸
項目
指標
晶圓尺寸
2-12寸及不規(guī)則樣品
上料模式
手動上下料
傳輸系統
手動/定制工裝
去除效率
60keV：800 ?*cm2/s@SiO2
20keV ：40 ?*cm2/s@SiO2
支持工藝氣體
Ar/SF6/O2/He或其他混合氣體
束流強度
＞100μA @Ar
束斑尺寸
半高寬<10mm
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