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SAB9500-半自動 超原子束拋光機
SAB9500-半自動 超原子束拋光機

參考價格

面議

型號

SAB9500-半自動 超原子束拋光機

品牌

青禾晶元

產(chǎn)地

天津

樣本

暫無
青禾晶元半導體科技(集團)有限責任公司

高級會員

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第1年

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SAB9500是一款半自動的超原子束拋光機,可利用超原子束對2-12寸晶圓或不規(guī)則樣品進行超精密表面拋光,可加工材料包括Si、SiC、InP、GaAs、GaN、金剛石、LN、LT、光學晶體等。

2-12寸及不規(guī)則樣品兼容晶圓尺寸

  • 項目

    指標

  • 晶圓尺寸

    2-12寸及不規(guī)則樣品

  • 上料模式

    手動上下料

  • 傳輸系統(tǒng)

    手動/定制工裝

  • 去除效率

    60keV:800 ?*cm2/s@SiO2
    20keV :40 ?*cm2/s@SiO2

  • 支持工藝氣體

    Ar/SF6/O2/He或其他混合氣體

  • 束流強度

    >100μA @Ar

  • 束斑尺寸

    半高寬<10mm


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