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SAB6210 HB-全自動 混合鍵合設(shè)備
SAB6210 HB-全自動 混合鍵合設(shè)備

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型號

SAB6210 HB-全自動 混合鍵合設(shè)備

品牌

青禾晶元

產(chǎn)地

天津

樣本

暫無
青禾晶元半導(dǎo)體科技(集團)有限責(zé)任公司

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SAB6210HB是一款混合鍵合(Hybrid bonding)專用設(shè)備。用于混合鍵合的晶圓表面有Cu pad和介電材料(SiO2或SiCN等)組成的圖案,并且Cu pad有一定的下凹量(Dishing),通過等離子體處理、水洗甩干使圖案晶圓表面的介電材料富集-OH,在大氣、室溫下通過MARK進行高精度對準(zhǔn)、鍵合。



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