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Tergeo等離子清洗機
特 征: ● 模式：直接浸泡式等離子清洗可以高速刻蝕和表面改性； 遠程等離子體可以輕微的清除表面污染，如SEM/TEM樣 品清洗 ● 操作：自動配方執(zhí)行；自動作業(yè)順序執(zhí)行；亦手動控制 ● 等離子傳感器：雙等離子強度傳感器（**申請中）實時監(jiān)測 等離子源和遠程等離子源且等離子強度實時顯示LCD觸摸屏上 ● 先進工藝控制：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC氣體流量計、雙等離子強度傳感器、自動阻抗匹配 ● 腔體材料：鋁法蘭，石英腔體 ● 石英腔體尺寸：內(nèi)徑：110mm；深280mm ● 樣品架：2mm厚高純度石英板 ● 射頻天線：外部射頻電極和天線設計減少了內(nèi)部金屬電極 在等離子清洗機中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問題 ● 射頻功率：13.56mhz射頻電源，自動阻抗匹配 射頻功率有兩種選擇：0-75watt和0-150watt ● 工藝氣路：高達三個MFC氣路 ● 用戶界面：7寸電阻式觸摸屏 ● 軟件：總共20個可定制的配方。每個工藝多達三個步驟 |
| Direct & downstream 清洗模式 | ||
引線鍵合倒裝芯片底部填充，器件的封裝和解封
光刻膠灰化、除渣、硅片清洗
PDMS/微流控/載玻片/芯片實驗
去除的掃描電鏡/電鏡樣品上碳氫污染物
改善金屬與金屬或復合材料的結(jié)合
改善塑料、聚合物和復合材料的粘接
PDMS/玻璃鍵合的應用筆記
Recipe ：
PDMS bonding: RF power 15Watt
RF pulse duty ratio: 10% to 20%Gas: Room air
Flow rate: 5sccm
Time: 30~60 seconds
Figure 1 經(jīng)過等離子體處理后，PDMS立即與玻璃結(jié)合，界面截留的氣體被自動擠出，無需在烤箱里固化PDMS/玻璃膠幾個小時。
Figure 2，粘合一分鐘后，用戶試圖測試PDMS/玻璃粘合度，由于粘合非常牢固，即使由于強大的拉力部分PDMS被撕掉之后，PDMS/玻璃粘合界面仍然完好無損。
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