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美國(guó)NXQ以**的性能，經(jīng)濟(jì)的價(jià)格，深受全球用戶(hù)喜愛(ài)，截至2016年底，超過(guò)5000臺(tái)NXQ曝光系統(tǒng)遍布全世界科研實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)中心。
NXQ4000系列半自動(dòng)掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光系統(tǒng)，融合了獨(dú)立的模塊化設(shè)計(jì)，精準(zhǔn)控制對(duì)準(zhǔn)和曝光等特點(diǎn)，自動(dòng)程序控制使得該系統(tǒng)易于操作存儲(chǔ)和使用，適合實(shí)驗(yàn)室多用戶(hù)使用。
該系統(tǒng)特點(diǎn)：
鍥型誤差補(bǔ)償系統(tǒng)----獨(dú)特的WEC設(shè)計(jì)
紫外燈源的多樣性選擇
曝光光路的精準(zhǔn)控制
視像分辨技術(shù)------在Video View Microscope 和Quadcam Microscope中快速切換
高效對(duì)準(zhǔn)控制-----可選配IR或OBS雙面對(duì)準(zhǔn)
使用領(lǐng)域（包括但不限于下述領(lǐng)域的光刻工藝）
微電子
LED/HBLED
3D IC /晶圓制造工藝
2.5D Interposer
MEMS
BioMEMS
微流控芯片
化合物半導(dǎo)體
太陽(yáng)能（HCPV）
光電子
型號(hào)：
NXQ4006半自動(dòng)型（可處理**6英寸基片）
NXQ4008半自動(dòng)型（可處理**8英寸基片）
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