參考價(jià)格
面議型號
鈣鈦礦太陽能電池磁控鍍膜設(shè)備JCP500品牌
北京泰科諾產(chǎn)地
北京樣本
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設(shè)備名稱:鈣鈦礦太陽能電池磁控濺射設(shè)備(不與手套箱連接)
設(shè)備型號:JCP500
鍍膜方式:磁控濺射
真空腔室結(jié)構(gòu):立式圓腔前開門結(jié)構(gòu) 側(cè)置抽氣系統(tǒng)
真空腔室尺寸:Φ500mm×H420mm
基片臺尺寸:Φ150mm
膜厚不均勻性:≤±5.0%(100mmx100mm范圍內(nèi))
基片臺加熱:室溫~500℃
基片臺水冷:10℃~30℃
濺射靶:φ3英吋靶*3支 兼容DC/MF/RF濺射
晶振膜厚監(jiān)控儀:國產(chǎn)或進(jìn)口(可選)
控制方式:PLC + 觸摸屏控制
占地面積:L1750mm×W800mm×H1900mm
總功率:≥10kW
1.國內(nèi)技術(shù)**、市場占有率**,設(shè)計(jì)優(yōu)化,性能穩(wěn)定,使用維護(hù)成本低。
2.廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池及復(fù)合功能薄膜材料制備等應(yīng)用。
暫無數(shù)據(jù)!