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電阻蒸發(fā)鍍膜設(shè)備
電阻蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

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型號

電阻蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

品牌

北京泰科諾

產(chǎn)地

北京

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北京泰科諾科技有限公司

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適用范圍.jpg


大專院校、科研院所及企業(yè)進行薄膜新材料的科研與小批量制備


特點用途.jpg


1. 設(shè)備一體化設(shè)計,占地面積小,性價比高,性能穩(wěn)定,使用維護成本低;

2. 設(shè)備配備多組蒸發(fā)源,兼容有機蒸發(fā)與無機蒸發(fā) , 多源共蒸獲得復(fù)合膜。設(shè)計專業(yè),功能強大,性能穩(wěn)定;

3. 適用于實驗室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、有機膜,也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗等。

設(shè)備型號:ZHD400

鍍膜方式:多源蒸發(fā)鍍膜

真空腔室結(jié)構(gòu):立式方形前開門結(jié)構(gòu)

真空腔室尺寸:L400mm×W440mm×H450mm

加熱溫度:室溫~ 300℃

基片臺尺寸:120mm×120mm

膜厚不均勻性:≤ ±5.0%

蒸發(fā)源:2-3 組金屬源 /2-3 組有機源

控制方式:PLC + 觸摸屏控制

占地面積:主機 L1710mm×W850mm×H1850mm

總功率:≥ 8kW


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