參考價(jià)格
面議型號(hào)
鈣鈦礦大面積蒸發(fā)設(shè)備ZDF3200品牌
北京泰科諾產(chǎn)地
北京樣本
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1. 技術(shù)先進(jìn)、設(shè)計(jì)優(yōu)化,性價(jià)比高,性能穩(wěn)定,使用維護(hù)成本低。
2.大面積,復(fù)合型,批量制備,潔凈真空不同功能復(fù)合涂層制備,可獲得更高電池轉(zhuǎn)換效率。
3.廣泛用于鈣鈦礦太陽(yáng)能電池及復(fù)合功能薄膜材料制備等應(yīng)用。
設(shè)備名稱:鈣鈦礦大面積蒸發(fā)設(shè)備
設(shè)備型號(hào):ZDF3200(單片/多片)
鍍膜方式:線源蒸發(fā)
真空腔室結(jié)構(gòu):臥式方箱結(jié)構(gòu)
真空腔室尺寸:L810mm×W700mm×H670mm(鍍膜室)
極限真空:優(yōu)于5.0x10-?Pa
基片臺(tái)尺寸:330mm×420mm
基片溫度:80℃以下
膜厚不均勻性:≤±5.0%(330mmx420mm范圍內(nèi))
蒸發(fā)源:高低溫線性蒸發(fā)源
膜厚監(jiān)控系統(tǒng):國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口多探頭(可選)
控制方式:PLC + 觸摸屏控制
占地面積:L3200mm×W2000mm×H1800mm
總功率:≥40KW
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