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設備名稱：鈣鈦礦大面積蒸發(fā)設備
設備型號：ZHDY600
鍍膜方式：點源蒸發(fā)
真空腔室結構：立式方箱結構
真空腔室尺寸：L600mm×W600mm×H520mm（鍍膜室）
極限真空：優(yōu)于5.0x10-?Pa
基片臺尺寸：300mm×300mm
基片溫度：80℃以下
膜厚不均勻性：≤±5.0%（300mmx300mm范圍內(nèi)）
蒸發(fā)源：高低溫點源
膜厚監(jiān)控系統(tǒng)：國產(chǎn)或進口多探頭（可選）
控制方式：PLC + 觸摸屏控制
占地面積：L2400mm×W1200mm×H2000mm
總功率：≥16KW

1. 技術先進、設計優(yōu)化，性價比高，性能穩(wěn)定，使用維護成本低。

2.大面積，復合型，批量制備，潔凈真空不同功能復合涂層制備，可獲得更高電池轉(zhuǎn)換效率。

3.廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池及復合功能薄膜材料制備等應用。