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Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS)
Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)，專為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測(cè)量而設(shè)計(jì)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓、薄膜及光罩檢測(cè)，也可用于顯示市場(chǎng)等基板檢測(cè)。該系統(tǒng)配備 4-12 英寸視場(chǎng)（FOV）掃描區(qū)域，支持上下表面檢測(cè)。其獨(dú)特光學(xué)設(shè)計(jì)使產(chǎn)品在計(jì)量過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)即可完成檢測(cè)。該系統(tǒng)可根據(jù)不同生產(chǎn)工藝需求進(jìn)行定制，或直接集成至產(chǎn)線。
生產(chǎn)過(guò)程中的一致性測(cè)量
快速: 能在數(shù)秒內(nèi)完成大面積成像
定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測(cè)
操作簡(jiǎn)便: 不受操作人員影響，自動(dòng)化，潔凈抓取方式
精準(zhǔn): 高分辨率測(cè)量（數(shù)量、位置、尺寸）
一致性: 每次測(cè)量都保持客觀、穩(wěn)定
高通量: 能在工藝時(shí)間窗口內(nèi)得出結(jié)果
FM-PDS: 直接檢測(cè)表面顆粒
該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝、下一代化合物半導(dǎo)體以及先進(jìn)封裝應(yīng) 用，提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù)。
該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1&μm 的顆粒具有高靈敏度，是一種高 效且提供全方位服務(wù)的選擇。
它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式，以及 較低的維護(hù)成本，取代傳統(tǒng)的顆粒檢測(cè)系統(tǒng)。
對(duì)于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用， PDS 系統(tǒng)具備獨(dú)特的屬性：雙面同 時(shí)掃描（選配）；
靜態(tài)視場(chǎng)掃描（在圖像采集過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)產(chǎn)品）。
多功能模塊化平臺(tái)
系 統(tǒng) 可 定 制，以 適 應(yīng) 每 個(gè) 生 產(chǎn) 認(rèn) 證 流 程，或 融 入 生 產(chǎn) 線 。其 配 置 包括手動(dòng)或自動(dòng)晶圓抓取移動(dòng)設(shè)備、用于檢測(cè)和清潔的封裝開啟 設(shè)備、填充設(shè)備、機(jī)械臂、檢測(cè)單元以及清潔設(shè)備。
該系統(tǒng)可根據(jù)需要客戶需求進(jìn)行定制和擴(kuò)展。測(cè)量模塊也可為系 統(tǒng)集成商和原始設(shè)備制造商（OEM）提供貼牌服務(wù)。
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
今年 11 月 2 日起，每日早七點(diǎn)至晚八點(diǎn)，包括延安高架、南北高架在內(nèi)的多條道路禁止“外牌”、“臨牌”小客車、未載客的出租車等通行。因?yàn)樾履茉雌囓嚺戚^容易獲得，不少人轉(zhuǎn)投新能源汽車，因此帶動(dòng)了新能
2020-12-21
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2020-12-21
2020-12-21
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2025 年 5 月 14 - 16 日，中國(guó)金屬學(xué)會(huì)煉鋼分會(huì)將在山東省濟(jì)南市舉辦“2025 年（第二十六屆）全國(guó)煉鋼學(xué)術(shù)會(huì)議”。會(huì)議主題為“綠色低碳、提質(zhì)增效、助力新質(zhì)新發(fā)展”，旨在探討
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Nature Nanotechnology ｜ 原子層沉積賦能無(wú)鈷 LiNiO? 正極材料，引領(lǐng)全固態(tài)鋰電池性能革新！ 發(fā)表文章：High-energy all-solid-st
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