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蝕刻和剝離系統(tǒng)CESx124
蝕刻和剝離系統(tǒng)CESx124

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美國(guó)

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邁可諾技術(shù)有限公司

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這款蝕刻和清潔系統(tǒng)專為滿足當(dāng)今晶圓、光掩模和基板的前沿應(yīng)用的特殊工藝需求而設(shè)計(jì)。這高效蝕刻和清潔系統(tǒng)CESx124、126128133理想選擇,可滿足不同大小尺寸的晶片、光掩模和襯底,不論是從小直徑還是非常大直徑。CESx可以配置多種工藝分配選項(xiàng),Megasonic噴嘴對(duì)DI H20或化學(xué)藥品的處理分配選項(xiàng);用于化學(xué)制劑的低壓噴嘴;化學(xué)加熱器和DI-H20;用于表面攪拌以加快反應(yīng)的刷子,和/DI H20等。

特點(diǎn):

專為重要控制和安全而設(shè)計(jì)的系統(tǒng)。

多達(dá)9x9英寸/ 300mm直徑的基板兼容性。

主軸組件具有直流無(wú)刷伺服電機(jī),可實(shí)現(xiàn)精確的速度控制和分度。

特氟龍涂層不銹鋼臂可調(diào)節(jié)臂速度和行進(jìn)位置。

徑向排氣腔,用于**層流,蓋子頂部有N2進(jìn)料。

DI-H20加熱器,用于清潔和干燥輔助。

過(guò)程中包含化學(xué)相容性材料PVDF或可選的PTFE。

獨(dú)立式聚丙烯柜。

微處理器控制功能可以在存儲(chǔ)器中保留三十(30)步的配方,每個(gè)配方有三十(30)步。配方和步驟的數(shù)量均可根據(jù)要求擴(kuò)展。

內(nèi)置安全聯(lián)鎖和雙重控制。

用聯(lián)鎖裝置沖洗整個(gè)工藝區(qū)域和基材的pH值,以禁止進(jìn)入工藝區(qū)域并控制排放和主軸轉(zhuǎn)速直到安全。

按鈕蓋打開/關(guān)閉。

觸摸屏圖形用戶界面(GUI),易于編程和安全鎖定,并帶有屏幕錯(cuò)誤報(bào)告。

用于化學(xué)和房屋排水的排水分流閥。

設(shè)計(jì)符合SEMI S2 / S8準(zhǔn)則。

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品:蝕刻和剝離系統(tǒng)

型號(hào):CESx124

可用機(jī)械臂:4

**基板尺寸:13英寸直徑

**主軸速度:2500

配方:高達(dá)30

分配管路:12

主營(yíng)產(chǎn)品:

Laurell勻膠機(jī)

Harrick等離子清洗機(jī)

Thetametrisis膜厚儀

Microxact探針臺(tái)

ALD原子層沉積系統(tǒng)

TRION反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

Uvitron紫外固化箱

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Novascan紫外臭氧清洗機(jī)

Nilt納米壓印機(jī)

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板

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