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MicroXact高精度半自動化探針臺
MicroXact高精度半自動化探針臺

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美國

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邁可諾技術(shù)有限公司

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SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動探針臺,設(shè)計靈活,易于使用,可用于高效設(shè)備表征,晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統(tǒng)設(shè)計用于支持*多200mm晶圓的手動和半自動探測。

高分辨率復(fù)合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

超完全真空泵。

溫度范圍為-65°C> 400°C的熱卡盤(也可以使用更高的溫度)。

適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。

可選擇XY平移臺和超堅固的焊接鋼橋,用于高分辨率顯微鏡。

高分辨率復(fù)合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

超完全真空泵。

溫度范圍為-65°C> 400°C的熱卡盤(也可以使用更高的溫度)。

適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。

可選擇XY平移臺和超堅固的焊接鋼橋,用于高分辨率顯微鏡。

型號SPS-12000-HPSPS-2800-HPSPS-2600-HP
晶圓尺寸高達300mm高達200mm高達100mm
電機類型步進電機
XY舞臺行程高達300mmx300mm高達200mmx200mm高達100mmx100mm
饋通終端BNC,Triax或香蕉插頭
系統(tǒng)尺寸101CMx91CMx 88CM122CMx122CMx 92CM78CMx80CMx 58CM
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