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MicroXact標準半自動探針臺
MicroXact標準半自動探針臺

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美國

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邁可諾技術有限公司

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MicroXact的半自動探針臺提供多種選擇,包括加熱/冷卻晶圓卡盤,標準或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺分度,為您的所有高效設備表征提供經濟高效且易于使用的解決方案。晶圓級可靠性測試需求。這些半自動探針臺有三種選擇(標準,高精度和高速)。

光滑的粉末涂層鋼板可容納多達10個磁性或真空定位器。

通過位于站兩側的終端隔離饋通,可以方便地連接微定位器,可以為BNC,TriaxBanana插頭連接進行定制。

標準吊桿安裝組件,用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。

可用的高分辨率微定位器,帶80TPI螺釘,用于探針的μm級定位。

可用的RF選項包括可定制的RF探頭,RF偏置卡盤和屏蔽罩。

高分辨率復合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調節(jié)真空吸盤。

超完全真空泵。

標準半自動化系統(tǒng)

電動XY夾頭,SPS-2600中的電動壓板,SPS 2800中卡盤的電動Z軸運動,標準配置。Motorized theta是一種選擇。

基于步進電機,無編碼器。

**成本競爭力

強烈推薦用于需要低于0°C的測試或屏蔽的應用

可用選項:加熱或冷卻卡盤,變焦鏡或復合顯微鏡,各種屏蔽,用于直流和射頻測量的卡盤選擇等等

型號

SPS-2800

SPS-2600

晶圓尺寸

高達200mm

高達100mm

電機類型

步進電機

XY舞臺行程

高達200mmx200mm

高達125mmx125mm

XY舞臺分辨率

電動,6.5μm重復性

顯微鏡

高品質立體聲變焦,工作距離可達200mm,放大倍率范圍為3.5X180X

饋通終端

BNCTriax或香蕉插頭

系統(tǒng)尺寸

122厘米寬x122厘米深x 92厘米高

78厘米寬x80厘米深x 58厘米高

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