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M82300-3/UM型PECVD鍍膜設(shè)備
M82300-3/UM型PECVD鍍膜設(shè)備

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型號

M82300-3/UM型PECVD鍍膜設(shè)備

品牌

電子科技

產(chǎn)地

湖南

樣本

暫無
中國電子科技集團公司第四十八研究所

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PECVD鍍膜設(shè)備即等離子體增強化學(xué)氣相淀積設(shè)備,是利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。

M82300-3/UM型五管PECVD設(shè)備既可用于淀積電池片正面氧化硅減反射膜,也可用于淀積電池片背面鈍化膜。

  • 硅片尺寸可從166mm兼容到220mm;

    單管載片量可到680片,雙舟設(shè)計;

    輔助加熱技術(shù),可大幅改善工藝均勻性;

    具備背面氧化鋁工藝能力。



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