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裝片量與產(chǎn)能

416 片/批（156x156mm 方片），單臺5管產(chǎn)能≥3600片/小時；

在線時間

≥98%；

設(shè)備功率

峰值功率≤280KW，平均功率≤70KW；

設(shè)備尺寸

7400mm（不含真空泵）×2110mm×3530mm（L×W×H）；

成膜質(zhì)量參數(shù)

成膜均勻性

片內(nèi)≤4％、片間≤3％、批間≤3％（膜厚80～120nm）；

折射率均勻性

片內(nèi)≤1.5％、片間≤1.5％、批間≤1.5％（折射率2～2.2）；

溫控系統(tǒng)參數(shù)

恒溫區(qū)長度及精度

≤±1℃/1600mm （450℃時）；

溫度控制范圍

200～580℃；

溫度控制方式

五段雙回路溫度控制；

真空系統(tǒng)參數(shù)

壓力控制

高精度VAT閥控制，控壓范圍220±40Pa；

石墨舟傳輸系統(tǒng)參數(shù)

石墨舟上料方式

全自動機械手上下舟，在線式/離線式對接插片機可選；

控制系統(tǒng)參數(shù)

推舟機構(gòu)

水平速度1~12000mm/min可調(diào)，垂直速度1~150mm/min可調(diào)，承重≥40KG；

控制方式

高性能工控計算機全自動控制工藝過程，并對工藝參數(shù)和工藝流程實時監(jiān)控；

基本參數(shù)

在線時間

≥98%；

設(shè)備功率

峰值功率≤280KW，平均功率≤70KW；

設(shè)備尺寸

7400mm（不含真空泵）×2110mm×3530mm（L×W×H）；