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小圓柱式微波等離子體沉積(CVD)系統(tǒng)
小圓柱式微波等離子體沉積(CVD)系統(tǒng)

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小圓柱式微波等離子體沉積(CVD)系統(tǒng)

品牌

杭州晶馳

產(chǎn)地

浙江

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杭州晶馳機電科技有限公司

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該設(shè)備為微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MWCVD)。采用2.45GHz頻率微波源,電場激發(fā)諧振腔模式為TM013模式,激發(fā)穩(wěn)定的等離子體。該系統(tǒng)可以穩(wěn)定生長金剛石單晶材料、多晶晶圓。通過工藝調(diào)節(jié),可以穩(wěn)定生長出 2 英寸金剛石晶圓。

       主要應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體襯底、熱沉片、珠寶、刀具、機械密封、新一代移動通信、智能電網(wǎng)、消費類電子等。


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