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單腔立式外延爐品牌
杭州晶馳產(chǎn)地
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產(chǎn)品詳情
1、相較現(xiàn)有立式外延爐有更低的硬件成本,更小的占地面積;
2、兼容4/6寸晶圓外延生長,成膜質(zhì)量好,可實(shí)現(xiàn)厚外延層快速生長；
3、更長的維護(hù)周期,更低的耗材成本；
暫無數(shù)據(jù)！
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