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ASML 二手ArF光刻機(jī)XT
ASML 二手ArF光刻機(jī)XT

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

ASML 二手ArF光刻機(jī)XT

品牌

佳鼎半導(dǎo)體

產(chǎn)地

山東

樣本

暫無
青島佳鼎半導(dǎo)體

高級(jí)會(huì)員

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第1年

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ASML Holding NV (ASML) 于2006年末推出了其**的 TWINSCAN 系統(tǒng),這是一種先進(jìn)的 193 納米 (nm) 曝光系統(tǒng),具有成像、覆蓋和吞吐量改進(jìn)的特點(diǎn)。TWINSCAN XT:1450 的目標(biāo)是大批量制造,將干燥 ArF 擴(kuò)展到亞 60 nm。客戶還可以使用它來支持使用雙圖案技術(shù)開發(fā) 32 納米節(jié)點(diǎn)工藝。

XT:1450 是先進(jìn)的干式 ArF 批量生產(chǎn)系統(tǒng)。它提高了 IC 制造商的所有權(quán)價(jià)值,在批量制造條件下每小時(shí)可生產(chǎn) 143 片晶圓。新的 AERIAL-P 照明器支持高效偏振,加上增強(qiáng)的鏡頭像差控制和增強(qiáng)的疊加性能,使 XT:1450 能夠?qū)⒏?ArF 的極限擴(kuò)展到 57 nm 的指定分辨率。


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10分

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10分

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10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
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