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槽式清洗機(jī) Ultron B200品牌
佳鼎半導(dǎo)體產(chǎn)地
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關(guān)鍵應(yīng)用：
柵極預(yù)清洗
RCA清洗
光阻去除
氧化硅腐蝕
氮化硅腐蝕
CoSix選擇性腐蝕
產(chǎn)品優(yōu)勢：
1、占地面積小，將外部unit 集成在設(shè)備內(nèi)部來減小整體的占地面積；
2、高產(chǎn)能，優(yōu)化的Marangoni Dryer；
3、重新設(shè)計槽體流場，較好的清洗效果和均一性;
4、有機(jī)清洗，控片回收；
5、機(jī)臺將back conveyor集成在機(jī)臺的后上方，節(jié)省了空間 ；
6、機(jī)臺采用PLC和PC的結(jié)合控制方式， 系統(tǒng)可靠高；
7、優(yōu)化機(jī)臺內(nèi)部流場設(shè)計，帶來更好的articleperformance
8、破片偵測系統(tǒng)，防止二次傷害；
暫無數(shù)據(jù)！
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