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SVT 閥控沉積源可精確控制高蒸汽壓材料的束流。其獨(dú)特地閥門(mén)設(shè)計(jì)，使該源具有很好的工藝重復(fù)性以及束流反應(yīng)即時(shí)性。驅(qū)動(dòng)閥門(mén)可選，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)工藝控制。
閥控沉積源與束流分流口相連，可以在很大面積的襯底上沉積。分流口光闌可以調(diào)節(jié)束流形狀，是太陽(yáng)能電池以及OLED沉積工藝的**選擇。分流口可與襯底非常接近，因此提高了沉積速率。
增加熱激發(fā)區(qū)域可選，此區(qū)域可以提高多原子大分子的活性。熱激發(fā)的分子降低了材料消耗，提高了材料質(zhì)量以及S和Se的結(jié)合力。
針閥設(shè)計(jì)可以精確控制高蒸汽壓材料的束流
熱激發(fā)部件可選，可提高材料結(jié)合力
可客戶(hù)定制分流口
源容量大，適于長(zhǎng)期生長(zhǎng)
是太陽(yáng)能電池和OLED應(yīng)用領(lǐng)域的**選擇
型 號(hào) | 容 量 | 兼容的材料 |
SVTA-VC-200 | 200cc | As，Sb，Se， Te，S |
SVTA-VC-500 | 500cc | As，Sb，Se， Te，S |
SVTA-VC-15000 | 15，000cc | Se， Te，S |
SVTA-VC-30000 | 30，000cc | Se， Te，S |
饋入法蘭 | 4.5’’(DN63)CF 法蘭(其它尺寸可選) |
**體蒸發(fā)溫度 | 450 oC，500 oC除氣 |
分流口**溫度 | 700 oC，900 oC除氣 |
源溫度穩(wěn)定性 | +/- 0.1 oC |
熱偶類(lèi)型 | K型 |
電接插件 | 大氣下的燈絲：Amphenol環(huán)形燈絲 T/C:Omega亞微型 |
烘烤溫度 | 200oC |
束流穩(wěn)定性 | <1%，帶有集成束流傳感器 |
**操作環(huán)境壓強(qiáng) | 1X10-4Torr |
沉積均一性 | +/-6%(源與襯底距離300mm) +/-4%(源與襯底距離200mm) |
加熱時(shí)間 | 400 oC< 60min |
冷卻時(shí)間 | 100oC <120分鐘 |
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