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此在線CL系統(tǒng)是監(jiān)控MBE生長(zhǎng)過(guò)程的理想選擇。
CL可以放置在獨(dú)立的觀察窗位置。
通過(guò)RHEED槍以及敏感的光學(xué)探測(cè)系統(tǒng)，CL可以實(shí)時(shí)提供材料組分的準(zhǔn)確信息，并進(jìn)行實(shí)時(shí)光學(xué)分析。
部件有8''的前后移動(dòng)容域度，避免與其他部件相互干擾。
CL通過(guò)電子激發(fā)技術(shù)調(diào)節(jié)電子能量，可以檢測(cè)較深的薄膜表面信息。
與其配套的Windows軟件操作系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)操作自動(dòng)化及圖譜分析。
特點(diǎn)
一個(gè)端口可以同時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜成分和光學(xué)分析
摻雜水平信息
部件可前后移動(dòng)，使部件間相互干擾*小化
全電腦控制及分析
光譜范圍 | 200-900nm |
分辨率 | 0.5nm |
探測(cè)器量子效率 | 25% |
探測(cè)器輸出 | 10V/nW |
噪音等效 | <250V |
觀察窗口 | 2.75''CF |
外部尺寸 | 9.0''X25.5''X10.1'' (22cm×65cm×26cm) |
腔室內(nèi)尺寸 | 1.25''×13.1'' (3.2cm×34cm) |
行程距離 | **8''(20.3cm) |
靶距離 | 2''(5.1cm) |
電腦要求 | Windows 9X，2000，XP |
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