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SVT公司的氣體入射源是為氣體源分子束外延（GSMBE）設(shè)計(jì)的。
SVTA-APH3-GCS入射源用于裂解砷化氫和磷化氫以進(jìn)行高質(zhì)量的III-V材料生長(zhǎng)。
源采用單燈絲加熱，雙氣體管爐提高氣體裂解的效率。
它還采用一系列光闌板(aperture plates)滿足客戶對(duì)裂解性能的要求。
熱裂解區(qū)由高純PBN材料和鉭材料制作的。其在**溫度下也可提供超高純環(huán)境。
完整的氣體入射源系統(tǒng)還包括具有較大壓力的氣體傳輸系統(tǒng)。
為提高束流分布均一性，可定制源長(zhǎng)度。
典型應(yīng)用
用于III-V材料系統(tǒng)
具有很高的氣體裂解能力
先進(jìn)的氣體操作系統(tǒng)
溫度150 oC-1，300 oC
MFC/自動(dòng)束流控制
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