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設(shè)備特點(diǎn)
兼容雙Loadport上料結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
全自動(dòng)機(jī)器人上料
適用于各種材料，應(yīng)用范圍廣
配備核心HBC，工藝高效
兼容高達(dá)10mm彎曲的軟晶圓片
整機(jī)精度:±50μm
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