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全自動12寸晶圓拋光機
全自動12寸晶圓拋光機

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型號

全自動12寸晶圓拋光機

品牌

江蘇元夫

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無
江蘇元夫半導(dǎo)體科技有限公司

高級會員

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第1年

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生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 磨拋盤直徑:

    -
  • 主軸轉(zhuǎn)速:

    -
  • 單位能耗:

    -
  • 裝機功率(kw):

    -
  • 成品細度:

    -
  • 工作原理:

    其他
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全自動12寸晶圓拋光機

為應(yīng)對當(dāng)前高端集成電路制造國產(chǎn)化趨勢,研發(fā)出12吋全自動高產(chǎn)能CMP(化學(xué)機械研磨)設(shè)備,滿足客戶多種工藝應(yīng)用場景需求、提供整體解決方案,**化地降低客戶設(shè)備運維成本、提高單位面積/單位時間的產(chǎn)出率。

設(shè)備特點

多線程跑貨,高WPH

模塊化布局,分區(qū)維護

自主研發(fā)多分區(qū)研磨頭

干進干出,馬蘭戈尼提拉干燥

搭配在線量測IM,實現(xiàn)APC

高速響應(yīng)、高精度Endpoint技術(shù)

用于Oxide/Si/STI/W/Cu/Poly等CMP制程

可支持天車系統(tǒng),實現(xiàn)全自動派工

適配全工業(yè)化生產(chǎn)系統(tǒng)MES/RMS/FDC/PMS等

具備自主知識產(chǎn)權(quán)創(chuàng)新技術(shù)

標(biāo)準(zhǔn)機臺尺寸:長5.7m*寬2.8m*高2.7m


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易用性

10分

性價比

10分
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