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全自動12寸晶圓拋光機品牌
江蘇元夫產(chǎn)地
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全自動12寸晶圓拋光機
為應(yīng)對當(dāng)前高端集成電路制造國產(chǎn)化趨勢，研發(fā)出12吋全自動高產(chǎn)能CMP(化學(xué)機械研磨)設(shè)備，滿足客戶多種工藝應(yīng)用場景需求、提供整體解決方案，**化地降低客戶設(shè)備運維成本、提高單位面積/單位時間的產(chǎn)出率。
設(shè)備特點
多線程跑貨，高WPH
模塊化布局，分區(qū)維護
自主研發(fā)多分區(qū)研磨頭
干進干出，馬蘭戈尼提拉干燥
搭配在線量測IM，實現(xiàn)APC
高速響應(yīng)、高精度Endpoint技術(shù)
用于Oxide/Si/STI/W/Cu/Poly等CMP制程
可支持天車系統(tǒng)，實現(xiàn)全自動派工
適配全工業(yè)化生產(chǎn)系統(tǒng)MES/RMS/FDC/PMS等
具備自主知識產(chǎn)權(quán)創(chuàng)新技術(shù)
標(biāo)準(zhǔn)機臺尺寸：長5.7m*寬2.8m*高2.7m
暫無數(shù)據(jù)！
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