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定制-微型熱沉積系統(tǒng)品牌
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中國樣本
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微型熱沉積系統(tǒng)
Description:
●尺寸:600(W)x1015(D)x1800(H)
●真空室:350(D) x 440(H)
●可實(shí)現(xiàn)<+/-3%的均勻沉積
●極限壓力 ≤5E-7Torr
●襯底大小:3”
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