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微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)
微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)

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型號

定制-微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)

品牌

毅睿/芯壹方

產(chǎn)地

中國

樣本

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微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)


微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)第2頁-7.PNG



Description:

●微波頻率:2.45±0.025 GHz

微波功率:≥3 KW連續(xù)可調(diào)

可實現(xiàn) <+/-3% 的均勻沉積

氣體:SiH4,NH3, N2O, Ar, N2, CF4,O2...

極限壓力:≤1X10-3 Torr

尺寸:8英寸晶圓

用途:SiO2,SixNx...etc.,

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