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涂膠顯影設(shè)備
涂膠顯影設(shè)備

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型號(hào)

涂膠顯影設(shè)備

品牌

上海至純

產(chǎn)地

上海

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上海至純系統(tǒng)集成有限公司

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主要應(yīng)用于集成電路芯片制造光刻工藝中涂膠顯影工序的主力設(shè)備;具有傳送速度更快、人機(jī)界面更優(yōu),工藝精度更高,集涂膠、前烘、顯影和后烘多重功能于一體的特點(diǎn);具有可兼容六寸、八寸半導(dǎo)體廠客戶需求,適配深紫外光光刻機(jī)、i線光刻機(jī)、聚酰亞胺制程以及第三代半導(dǎo)體材料襯底等前后道光刻涂膠顯影工藝的優(yōu)勢(shì)。

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