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主要應(yīng)用于6寸、8寸以及12寸半導(dǎo)體晶圓廠擴散以及低壓化學(xué)氣相沉積工藝。有夾片式機械手臂傳送速度快，有數(shù)字式表頭易于查看，人機操作界面友好，工藝穩(wěn)定的特點。具有我司自主研發(fā)知識產(chǎn)權(quán)，交貨貨期短的優(yōu)勢。
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