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通用磁控濺射鍍膜機GMS-1000
通用磁控濺射鍍膜機GMS-1000

參考價格

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型號

通用磁控濺射鍍膜機GMS-1000

品牌

杰萊特

產地

江蘇

樣本

暫無
杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司

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型號:GMS-1000


特點:

1、支持向上或向下的鍍膜方式;

2、先進的濺射靶材結構設計,實現(xiàn)膜厚分部的穩(wěn)定可靠;

3、高速旋轉的傘具與實際鍍膜工件的監(jiān)控位置,實現(xiàn)了所見即所得;

4、多通道透射式監(jiān)控,配合可調節(jié)膜厚修正板,實現(xiàn)了膜厚分布的反饋控制;

5、支持任意膜厚的控制;

6、通用的控制平臺,友好的人機界面,使客戶可以自行設置鍍膜機的所有控制參數(shù);

7、開放式接口,方便安裝第三方的光學膜厚儀;

8、氣流和氣壓同時實時控制,適用出氣量大的低溫鍍膜。


工藝參數(shù):

1、真空系統(tǒng)

     a) 極限真空度:4.0×10-5Pa 

     b) 抽至10Pa所用時間:≦ 10 分鐘

     c) 漏率: 3.0×10-5Pa m3/sec

2、控制精度

     a) 靶材尺寸:8寸直徑

     b) 工件旋速: 20-120RPM

     c) 工件尺寸:直徑900mm

     d) 離子源:等離子體離子源

     e) 加熱溫度:上下雙加熱控制,**溫度350度

     f)高真空泵:DN400油擴散泵或電子泵

     g)低真空泵組:機械泵+羅茨泵機組

     h)冷阱:雙組Polycold

3、光學監(jiān)控系統(tǒng)OMS

     a) 波長精度:0.2nm

     b) 光強波動: 白光< 0.1%,激光< 0.02%

     c) 波長范圍: 400nm-1650nm


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