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型號：IBSV-1030 特點：a)基板垂直放置，水平監(jiān)控；b)轉(zhuǎn)靶左右可調(diào)，保證靶面中心和離子源**距離；c)基板：12吋×1 ;d)靶材：兩靶或三靶可更換；e)多光路監(jiān)控。f)工件夾具：12吋工藝參數(shù)：1）真空系統(tǒng)a)極限真空度：4.0×10-5Pa b)抽至10Pa所用時間 10 Pa：≦ 10 分鐘c)漏率：3.0×10-5Pa m3/s 2）控制精度a)靶材旋轉(zhuǎn)：0.005°b)工件旋轉(zhuǎn): <1000RPMc)編碼器Encode: 12000lines;480000Counts/revd)膜厚修正板：0.005°e)擋板: position switch3）光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)OMSa) 波長范圍：380nm～1650nmb) 光源穩(wěn)定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02%c) 波長分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nmd) 波長準(zhǔn)確度: 白光0.2nm ，激光0.1nm
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