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設備特點:
1.設備的充氣組件主要包括質量流量計、電磁閥、混氣罐，保障工藝氣體流量的精確控制，不同氣體均勻混合、安全隔離，并且可選載氣系統(tǒng)組件，用于液態(tài)氣源的使用，方便廣泛的液態(tài)碳源的個性化選用，或合成導電金剛石電極液態(tài)硼源等的安全使用。2.抽氣組件配備靜音高效旋片式真空泵，以及快速滿足高真空本底環(huán)境的渦輪分子泵系統(tǒng)。真空測量采用電阻規(guī)與電離規(guī)搭配的復合真空計，以及可大范圍測量不同工藝氣體壓力的電容薄膜規(guī)系統(tǒng)。沉積氣壓的控制采用高精度比例調節(jié)閥全自動控制。3.冷卻水組件配備多路水壓、流量、溫度的測量及軟件自動監(jiān)控，不同冷卻部件相互獨立，方便快速診斷故障，所有支路擁有獨立的閥門開關，安全高效。
4.電氣控制組件采用大尺寸人機界面液晶屏，配合PLC全自動控制，方便工藝配方編輯和導入;圖形化曲線直觀顯示各參數變化及數值設備及工藝參數自動記錄存檔，方便問題追溯及數據統(tǒng)計分析。
5.工件架組件配置伺服電機控制基片臺升降，可選石墨或紫銅基片臺，溫度通過熱電偶進行測量6.機架組件根據客戶需求可整體或分體式設計，滿足客戶搬運特殊要求。
7.封板組件整體美觀大方，設備不同功能模塊區(qū)域的封板可獨立快速拆裝或打開關閉，使用十分方便,
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