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石墨烯薄膜CVD設(shè)備
石墨烯薄膜CVD設(shè)備

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型號

石墨烯薄膜CVD設(shè)備

品牌

山東力冠

產(chǎn)地

山東

樣本

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山東力冠微電子裝備有限公司

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產(chǎn)品概述/Product Introduction:

? 本系統(tǒng)是一套完備的石墨烯制備系統(tǒng),包括硬件和軟件部分

This system is a complete graphene preparation system, including hardware and software

? 工作在常壓氣氛或真空條件,通過控制生長工藝,既可以生長出六邊形的石墨烯單晶,也可以生長出花瓣狀的石墨烯的單晶

Working in normal pressure atmosphere or vacuum condition, by controlling the growth process, both hexagonal graphene single crystal and petal-shaped graphene single crystal can be grown

 

產(chǎn)品特點/Product Characteristics:

? 采用單腔室或雙腔室結(jié)構(gòu)

Adopt single chamber or double chamber structure

? 取料腔室快速冷卻

Rapid cooling of material taking chamber

? 該系統(tǒng)主要由電控系統(tǒng)、樣品加熱系統(tǒng)、工藝腔室系統(tǒng)、取放料系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)等組成

The system is mainly composed of electric control system, sample heating system, process chambersystem, material taking and discharging system, vacuum system, gas path system, pressure controlsystem and so on

? 結(jié)構(gòu)型式:臥式,間歇連續(xù)式自動控制

Structure type: Horizontal, intermittent continuous automatic control

? 適應(yīng)材料規(guī)格:A3尺寸

Suitable material specifications: A3 size

? 裝片量:200片

Loading capacity: 200 tablets


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