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氮化鎵(GaN)HVPE單晶生長設(shè)備 立式
氮化鎵(GaN)HVPE單晶生長設(shè)備 立式

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型號

氮化鎵(GaN)HVPE單晶生長設(shè)備 立式

品牌

山東力冠

產(chǎn)地

山東

樣本

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山東力冠微電子裝備有限公司

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產(chǎn)品特點/Product Characteristics:

? 基礎(chǔ)工藝包

Basic process package

1.氮化鎵(GaN)單晶生長尺寸: 2英寸

Gallium nitride (GaN) single crystal growth size: 2 inches

2.單晶生長速率:≥50微米/小時

Single crystal growth rate:≥50 microns/hour

3.藍寶石襯底外延生長氮化鎵(GaN)單晶層厚度: < 200微米


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