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Low-K開槽裝備
Low-K開槽裝備

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

Low-K開槽裝備

品牌

通用智能

產(chǎn)地

河南

樣本

暫無
河南通用智能裝備有限公司

高級(jí)會(huì)員

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第1年

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HGL1151系列是集成了通用智能核心技術(shù)的半導(dǎo)體晶圓Low-K層開槽設(shè)備,全自動(dòng)一站式加工,晶圓上料→預(yù)清洗+保護(hù)層涂布→激光開槽→后清洗+干燥→晶圓下料,所有工藝過程一氣呵成。產(chǎn)品全系采用高性能激光器及空間光整形系統(tǒng),標(biāo)配超高精密氣浮式高速加工平臺(tái),切割過程實(shí)時(shí)監(jiān)控··實(shí)時(shí)糾偏等功能,確保Low-K晶圓開槽的精度一致性和質(zhì)量的穩(wěn)定性。本產(chǎn)品的開槽精度高,槽形優(yōu)異,尤其對(duì)熱影響區(qū)的控制達(dá)到國際**水準(zhǔn)。主要技術(shù)性能達(dá)到國內(nèi)**,部分技術(shù)性能超過國際同類產(chǎn)品,是全面替代進(jìn)口開槽設(shè)備的**選擇。


Low-K激光開槽工藝優(yōu)勢

分隔線

? 非接觸加工、無物理應(yīng)力、無晶圓碎裂風(fēng)險(xiǎn)

 

? 通過動(dòng)態(tài)激光實(shí)時(shí)控制,工藝設(shè)置簡單靈活

  ①自由改變開槽寬度

  ②自由設(shè)置槽底平滑度

? 運(yùn)用方便,運(yùn)用成本低

  ①一次定位、一次清洗,

  ②工藝過程清潔

  ③無環(huán)境污染

  ④基本無耗材,運(yùn)用成本極低


技術(shù)原理

分隔線

? 運(yùn)用高性能空間光整形技術(shù)按需調(diào)制輸出激光形態(tài)

  ①切割道兩側(cè)以極細(xì)的雙光束刻畫出邊界細(xì)槽

  ②以平頂多光束激光在邊界槽內(nèi)側(cè)切割道開槽

? 運(yùn)用高性能實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)激光控制技術(shù)確保開槽精度

  ①實(shí)時(shí)控制激光束對(duì)槽壁垂直度的加工精度

  ②實(shí)時(shí)控制激光束對(duì)槽底平整度的加工精度

? 超快速脈沖激光束對(duì)Low-K材料進(jìn)行精確去除

? 開槽周邊熱影響區(qū)控制在5μm以內(nèi)


Low-K材料開槽工藝制程

分隔線

? Low-k(低介電常數(shù))材料是線寬制程低于 65nm 以下的高性能集成電路所必須的絕緣材料

? Low-K 材料機(jī)械特性脆弱,易碎

? Low-K 材料與 Si 系材料的附著力低,易剝離易分層

? 帶有 Low-K 層的半導(dǎo)體晶圓無法承受傳統(tǒng)刀輪切割的機(jī)械沖擊帶有 Low-K 材料的晶圓在切割前,需導(dǎo)入 Low-K 開槽工藝,以避免后續(xù)切割制程對(duì) Low-K 材料層造成傷害



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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無評(píng)論!
公司動(dòng)態(tài)
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技術(shù)文章
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  • Low-K開槽裝備的工作原理介紹?
  • Low-K開槽裝備的使用方法?
  • Low-K開槽裝備多少錢一臺(tái)?
  • Low-K開槽裝備使用的注意事項(xiàng)
  • Low-K開槽裝備的說明書有嗎?
  • Low-K開槽裝備的操作規(guī)程有嗎?
  • Low-K開槽裝備的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎?
  • Low-K開槽裝備有現(xiàn)貨嗎?
  • Low-K開槽裝備包安裝嗎?
Low-K開槽裝備信息由河南通用智能裝備有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于Low-K開槽裝備報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢。
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