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晶圓擴(kuò)裂裝備
晶圓擴(kuò)裂裝備

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型號

晶圓擴(kuò)裂裝備

品牌

通用智能

產(chǎn)地

河南

樣本

暫無
河南通用智能裝備有限公司

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晶圓擴(kuò)晶機(jī)又稱為晶圓擴(kuò)張分離機(jī)。將經(jīng)過切割后的晶圓進(jìn)行擴(kuò)張,增加獨(dú)立晶粒(Die)之間的間隙,便于摘取分裝。晶圓經(jīng)過隱形切割后,通過頂升、擴(kuò)張動作,將隱形切割后晶圓內(nèi)部的變質(zhì)層拉伸,使晶圓沿著變質(zhì)層開裂,形成整齊可控的切割裂紋。


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