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濕法刻蝕設(shè)備
濕法刻蝕設(shè)備

參考價格

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型號

濕法刻蝕設(shè)備

品牌

盛美半導(dǎo)體

產(chǎn)地

美國

樣本

暫無
盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司

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智能工序功能 - 對于不同的金屬腐蝕工藝,如銅刻蝕后再進(jìn)行鈦刻蝕,可預(yù)設(shè)工藝菜單與工序后,在設(shè)備中一次完成。
 

主要優(yōu)勢

先進(jìn)的噴嘴掃描系統(tǒng)

精確的藥液控制

藥液回收使用可減少成本

專注安全性


特性和規(guī)格

兼容8寸和12寸晶圓

*多可配至4個單片腔體

*多可配至5種藥液進(jìn)行雙面清洗工藝

*多可回收2種藥液


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