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濕法去膠設備
濕法去膠設備

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型號

濕法去膠設備

品牌

盛美半導體

產地

美國

樣本

暫無
盛美半導體設備(上海)股份有限公司

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槽式去膠單元——在槽式單元中使用藥液浸泡晶圓,該槽體一次可容納多片晶圓以提高產能。

單片去膠腔體——將藥液噴灑在旋轉晶圓表面,更好地獨立控制每片晶圓工藝。

主要優(yōu)勢

使用便捷

精確的藥液控制

槽式單元預浸泡工藝

藥液回收使用可減少成本

優(yōu)化安全配置

結合先進的晶圓清洗工藝

多層過濾功能


特性和規(guī)格

兼容8吋和12吋晶圓

配有浸泡槽體

配有單片去膠腔體,包括:
    a.*多可配至5種藥液進行雙面清洗工藝
    b.*多可回收2種藥液
    c.單片腔體可搭載空間交變相位移兆聲波(SAPS)組件
    d.可選配有高壓solvent/DIW噴洗


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