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SU-8光刻膠輪廓修改劑
SU-8光刻膠輪廓修改劑

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香港電子器材有限公司

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需要在負(fù)膠的SU-8實現(xiàn)正膠輪廓??

新產(chǎn)品光刻膠輪廓修改劑帶來了新的契機(jī)。

輪廓修改劑直接旋涂在Pre-baked的SU-8光刻膠頂部,降低了光刻膠膜頂部的光靈敏度,取得了正型的側(cè)壁。

影響SU-8輪廓效果的原因

1)光刻膠類型及厚度

2)XP TQC膠的厚度

3)曝光量

4)顯影后的去膜量

5)曝光類型(靠近或軟接觸)

正錐形輪廓:

1)在Micro-Molding應(yīng)用中,實現(xiàn)模具去除步驟

2)需要在結(jié)構(gòu)的頂部和側(cè)壁上的后續(xù)金屬沉積步驟

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