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弗萊貝格的MDPpro（晶圓片/晶錠壽命檢測儀）系列主要用于測量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等，其非接觸式檢測和無損成像（μPCD /MDP(QSS)）的設(shè)計(jì)完全符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110。這也使得該儀器在晶圓切割、爐內(nèi)監(jiān)控和材料優(yōu)化等領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用?？梢哉f，MDPpro是晶錠生產(chǎn)商以及晶體爐技術(shù)生產(chǎn)商的標(biāo)準(zhǔn)儀器。

特性&優(yōu)勢▼

u 無接觸和無破壞的半導(dǎo)體檢測；

u 特殊“underneath the surface”壽命測量技術(shù)；

u 對(duì)不可見缺陷的可視化測試具有很高靈敏度；

u 自動(dòng)設(shè)置硅錠切割標(biāo)準(zhǔn)；

u 空間分辨p/n電導(dǎo)型變換檢測；

u 多項(xiàng)數(shù)據(jù)同時(shí)自動(dòng)檢測掃描，5幅測量圖形同時(shí)繪制；

u 堅(jiān)固耐用的設(shè)計(jì)和易于設(shè)置的性能。安裝，僅需要電源。

應(yīng)用實(shí)例▼

1.日常壽命測量，質(zhì)量控制和檢驗(yàn)

高產(chǎn)量：>240塊/天或>720片/天

測量速度：對(duì)于156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠，<4分鐘

良品率提升：1mm切割標(biāo)準(zhǔn)為156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠

質(zhì)量控制：用于過程和材料的質(zhì)量監(jiān)控，如單晶硅或多晶硅

沾污檢測：起源于坩堝和生產(chǎn)設(shè)備的金屬(Fe)

可靠性：模塊化和堅(jiān)固耐用的工業(yè)儀器，更高可靠性，運(yùn)行時(shí)間> 99%

可重復(fù)性:> 99.5%

電阻率：可做面掃描，不需經(jīng)常校準(zhǔn)

2. 精密材料研發(fā)

a.鐵濃度測定

b.陷阱濃度測定

c.硼氧測定

d.依賴于注入的測量等