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主要特點(diǎn)：
設(shè)備特點(diǎn)：
自動(dòng)上下料，識(shí)別輪廓
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | 2-6inch晶圓 |
| 加工速度 | 2.5道/s | |
| 加工精度 | ±3um | |
| 平臺(tái)參數(shù) | 165mm*165mm | |
| 稼動(dòng)率 | 0.95 | |
| 重大故障間隙時(shí)間 | 1000H | |
| 良率 | ≥99.5% |
暫無數(shù)據(jù)！
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