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全自動激光全切設備
全自動激光全切設備

參考價格

面議

型號

全自動激光全切設備

品牌

大族半導體

產(chǎn)地

廣東

樣本

暫無
廣東大族半導體裝備科技有限公司

高級會員

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第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 主軸轉(zhuǎn)速:

    -
  • 切割片尺寸:

    -
  • 裝機功率(kw):

    -
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主要特點:

設備特點:

1、從源頭及加工過程中良好地抑制粉塵、熱影響、回熔、崩邊等對晶圓品質(zhì)造成影響的不利因素,極大提升產(chǎn)品的良品率

2、進一步提升加工能力,相較于傳統(tǒng)切割能力,可應對200μm厚度以內(nèi)的晶圓產(chǎn)品(不同材質(zhì)切割效果會存在差異)

3、可選多達5套光路系統(tǒng)方案,應對不同材料的分離工藝

主要參數(shù):


主要參數(shù)設備外形尺 W*D*H(mm)1140×1740×1750
X軸Max.800 mm/s;直線度:±1.5μm@200mm
Y軸Max.600 mm/s;重復性:±1μm
R軸行程:120°; 重復性:<3arcsec
Z軸行程:15mm;重復性:±1.5μm
視覺系統(tǒng)*2

高倍:42M pixel+6X鏡頭

低倍:130M pixel+2X鏡頭

激光器10W@80KHZ
支持**加工尺寸8"
占地(m2)1.9836
重量(Kg)約1600




加工效果:

    

    ●涂覆

激光全切加工效果圖1.png

    

    ●修邊

激光全切加工效果圖2.png激光全切加工效果圖3.png

   

    ●切割

激光全切加工效果圖4.png激光全切加工效果圖5.png

   

    ●視覺系統(tǒng)

激光全切加工效果圖6.png


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10分

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性價比

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