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激光去除設備
激光去除設備

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型號

激光去除設備

品牌

大族半導體

產(chǎn)地

廣東

樣本

暫無
廣東大族半導體裝備科技有限公司

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主要特點:

設備特點:

1、整機全自動化運行,可根據(jù)客戶產(chǎn)品需求定制

2、高精度對位系統(tǒng),視覺與激光同軸設計,保證加工精度

3、自主開發(fā)檢測功能,去除后可以自動對加工點位做AOI檢測,并上傳檢測結(jié)果

4、可匹配不同尺寸的芯片大小,自動調(diào)節(jié)光斑尺寸大小

5、加工效果好,加工后無粉塵殘留,無芯粒、電極殘留,不會損傷、影響周邊芯粒以及線路,并且兼容線路cutting的功能


主要參數(shù):


主要參數(shù)Donor尺寸

4/6/8 inch (可定制)

TFT基板尺寸

4-17.4 inch (可定制)

波長

1064nm、532nm、355/266nm

物鏡5X、10X、20X、50X
激光功率≥300mW@355nm or ≥200mW@266nm
光斑形貌

類平頂

光斑尺寸

0-50um可調(diào)

聚焦激光自動聚焦
定位根據(jù)掃碼獲取參數(shù),自動尋址定位
激光落點精度≤1um
尋址精度≤1um
XY運動平臺根據(jù)產(chǎn)品定制


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10分

售后服務

10分

易用性

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性價比

10分
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