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IFOX系列自動化光學晶圓檢測設備
IFOX系列自動化光學晶圓檢測設備

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型號

IFOX系列自動化光學晶圓檢測設備

品牌

大族半導體

產(chǎn)地

廣東

樣本

暫無
廣東大族半導體裝備科技有限公司

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主要特點:

1、成像質量:使用***的相機技術以實現(xiàn)超快速度且極小像差的掃描

2、量測集成包:大族激光是**家使用量測集成包的公司,能夠以一種簡單方便的方式創(chuàng)建一個快速的量測方案

3、光學系統(tǒng):使用自主先進的大視野顯微鏡,配有高級照明系統(tǒng)和即時聚焦技術

4、缺陷查找:使用先進的智能缺陷算法以克服制程工藝帶來的變異

5、直線高精電機,XYZ平臺, 100納米分辨率

6、機械結構200納米精度

7、潔凈化設計 (運動平臺在晶圓下側)

8、浮式基座平臺減小設備震動影響

主要參數(shù):


性能參數(shù).jpg


加工效果:


12寸半自動刀輪設備.png


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