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全自動激光解鍵合設備
全自動激光解鍵合設備

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型號

全自動激光解鍵合設備

品牌

大族半導體

產(chǎn)地

廣東

樣本

暫無
廣東大族半導體裝備科技有限公司

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主要特點:

設備特點:

1、全自動兼容8inch、12inch片生產(chǎn),帶條碼自動掃描系統(tǒng)

2、配合特殊剝離涂層,有效減少材料損傷,良品率高

3、采用先進的光斑整形技術,光斑均勻分布

4、擁有光斑質(zhì)量監(jiān)控與反饋系統(tǒng),保證光斑的穩(wěn)定性

5、攜帶激光加工能量監(jiān)控與自動補償系統(tǒng),保證能量的穩(wěn)定性

主要參數(shù):

主要參數(shù)加工尺寸8inch、12inch
加工速度1000mm/s
加工精度±1μm
平臺參數(shù)行程300mm×300mm
重復定位精度±0.001mm
激光器參數(shù)紫外
稼動率>0.98
重大故障間隙時間>1000H
良率≥99.5%

加工效果:



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