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成都真空設(shè)備 surpass大口徑等離子刻蝕機(jī)
成都真空設(shè)備 surpass大口徑等離子刻蝕機(jī)

參考價(jià)格

100-150萬(wàn)元

型號(hào)

CM-014

品牌

超邁光電

產(chǎn)地

四川成都

樣本

暫無(wú)
成都漢普升科技有限公司

會(huì)員

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第2年

|

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●本設(shè)備主要用于半導(dǎo)體刻蝕,能夠兼容離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕功能,使用氣態(tài)化學(xué)刻蝕劑與材料產(chǎn)生反應(yīng)來(lái)進(jìn)行刻蝕,并形成可從襯底上移除的揮發(fā)性副產(chǎn)品,通過(guò)真空系統(tǒng)排出,特別適合刻蝕熔融石英、硅、光刻膠、聚酷亞胺( PI) 薄膜、金屬等材料。


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